X熒光光譜儀隨著分光、探測系統(tǒng)及X光管等的不斷改善和電子計算機的應用，而得到迅速的推廣和發(fā)展。可以預料，對新技術、新方法的探索，還會不斷促進X熒光光譜儀器的更新發(fā)展。

X熒光光譜儀是一種無損的，應用廣泛的光譜分析儀器，X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測系統(tǒng)構成，X射線管產(chǎn)生入射X射線，激發(fā)被測樣品，受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。

X熒光光譜儀是一種較新型的可以對多元素進行同時測定的儀器，在X射線激發(fā)下，被測元素原子的內層電子發(fā)生能級躍遷而發(fā)出次級X射線（即X熒光），波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。

X熒光光譜儀是一種的、非破壞式的物質測量方法，X射線熒光是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時激發(fā)出的次級X射線，這種現(xiàn)象被廣泛用于元素分析和化學分析，特別是在金屬，玻璃，陶瓷和建材的調查和研究，地球化學，法，考古學和藝術品，例如油畫和壁畫。

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